MEMS’lerin Biyomedikal Alanındaki Uygulamalarının İncelenmesi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Erciyes Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2012
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: İbrahim Ethem SAÇU
Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Mustafa ALÇI
Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu
Özet:Mikro-elektro-mekanik sistemler (MEMS) küçük ölçekli mekanik yapılarla, elektronik devrelerin aynı kırmık üzerinde üretilebildiği bir bütünleştirme teknolojisi olarak kullanılmaktadır. MEMS teknolojisi beraberinde getirdiği küçültme avantajı nedeniyle birçok kullanım alanı bulmakta ve bu alanlarda bazı imkanlar ve potansiyeller sunmaktadır. Potansiyellerin sunulduğu alanlardan bir tanesi de medikal alanıdır.Mikrokirişler en yaygın MEMS elemanlarından birini oluşturmaktadır. Mikrokiriş tabanlı sensörler; toksik gaz, antijen, antikor, nükleik asit, virüs gibi birçok biyolojik ve kimyasal molekülün dedeksiyonda kullanılmaktadır. Yaygın kullanım alanına sahip olan bu sensörler de kapasitif, piezoelektrik, optik ve piezorezistif dedeksiyon metotları kullanılmaktadır. Her bir metodun kendine göre avantajları ve dezavantajları bulunmaktadır. Piezorezistif dedeksiyon metodunun sıvı ortamlarda çalışabilme, kolay ve ucuz üretim, elektronik devrelerle bütünleştirilmeye uygun olma gibi avantajları bulunduğundan tasarlanacak sensörde bu metoda yer verilmiştir. Sensör tasarımı sırasında gerçekleştirilen benzetimden piezorezisitif ve kiriş katman kalınlıklarının üretim teknolojilerinin izin verdiği ölçüde ebatlarının küçük olarak imal edilmesi gerektiği sonucuna varılmıştır. Ayrıca kiriş üzerinde açılacak kare oyuğun sensör duyarlılığını artırdığı görülmüştür.Bu çalışmada MEMS' lerin biyomedikal alanındaki kullanımları incelenmiş ve piezorezistif dedeksiyon yöntemine dayalı mikrokiriş biyosensör tasarımı ve benzetimi gerçekleştirilmiştir.Anahtar Kelimeler: MEMS, medikal sensörler, mikrokiriş, piezorezistif dedeksiyon